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其他光(guāng)學儀器(qì)
Polytec MSA-650 IRIS激光振(zhèn)測儀
品(pǐn)  牌:
Polytec 
産  地(dì):
德國 
型(xíng)  号:
Polytec MSA-650 IRIS激光(guāng)振測儀(yi) 
産品(pin)資料下(xià)載中心(xīn)
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  • Polytec MSA-650 IRIS激(ji)光振測(cè)儀介紹(shào)
    應用光(guang)學檢測(ce)矽封裝(zhuang)MEMS元器件(jian)内部結(jie)構振動(dòng)特點
    MEMS元(yuan)器件的(de)信息特(tè)點檢測(ce)和機械(xiè)設備回(hui)應數據(jù)可視化(huà)針對産(chan)品研發(fa)、常見故(gu)障解決(jué)和有限(xiàn)元分析(xī)實體模(mo)型認證(zheng)而言十(shi)分關鍵(jiàn)。
    Polytec企業的(de)MSA顯微鏡(jìng)式激光(guāng)測振儀(yi)能迅速(su)、精确地(dì)檢測💁超(chao)♌微結構(gòu)♌的面外(wài)振動(OOP)揉(róu)面内振(zhen)動(IP)。
    全新(xīn)升級的(de)MSA-650IRIS顯微鏡(jing)式激光(guang)測振儀(yi)乃至可(ke)以通過(guo)🏒完善的(de)小型矽(xi)密封性(xing)元器件(jiàn)開展檢(jian)測,如慣(guàn)性力傳(chuan)感器,MEMS話(huà)筒,工作(zuò)壓力傳(chuan)感器等(děng)。
    根據矽(xī)封裝元(yuan)器件的(de)不一樣(yàng)層檢測(cè)MEMS動态性(xìng)特點
    即(jí)時面外(wài)振動檢(jian)測,較大(da)網絡帶(dai)寬達到(dào)25MHz
    亞皮米(mi)級面外(wai)振動偏(piān)移屏幕(mu)分辨率(lü)
    MEMS元器件(jiàn)的最後(hou)有限元(yuán)分析實(shí)體模型(xíng)認證
    能(néng)夠更好(hao)地分離(li)出來元(yuán)器件的(de)每個層(ceng)
    頻閃法(fǎ)檢測平(píng)行面振(zhèn)動,網絡(luo)帶寬達(da)到2.5MHz
    便于(yu)集成化(huà)至生産(chan)流水線(xiàn)的自動(dong)測量系(xì)統軟件(jiàn)(兼容商(shāng)業探針(zhēn)台)
    能夠(gòu)更好地(dì)分離出(chū)來元器(qi)件的每(mei)個層

    特(tè)點
    MSA-650IRIS檢測(cè)系統軟(ruǎn)件包含(hán)控制闆(pǎn)、含有附(fù)加參照(zhào)安全通(tong)道的頻(pin)❓率計,極(jí)高精密(mi)度紅外(wài)光源的(de)光學頭(tóu)和強👣有(you)力的配(pèi)套設施(shi)程序包(bao)。
    其專用(yòng)型的紅(hong)外相機(ji)和低相(xiang)關SLD源,是(shi)在其通(tong)過矽帽(mào)獲得詳(xiang)🌐細矽封(fēng)裝構造(zao)在作業(ye)情況下(xià)的全部(bù)層制構(gou)造的信(xìn)息性能(néng)的重要(yào)。
    矽封裝(zhuang)MEMS元器件(jian)的多形(xíng)式檢測(ce)
    因為矽(xī)在光波(bo)長為1050nm以(yi)上的近(jìn)紅外光(guāng)譜中是(shì)通透的(de),根據紅(hong)外線幹(gàn)涉儀的(de)振動精(jīng)确測量(liàng)技術性(xìng)促使獲(huo)得密封(feng)性MEMS元器(qì)件最真(zhen)正和最(zui)有象征(zhēng)性的振(zhen)動特點(dian)變成很(hěn)有可能(néng)。
    Polytec全新升(sheng)級的最(zuì)現代化(hua)的且已(yǐ)得到發(fa)明的MSA系(xi)統軟件(jiàn)能保證(zhèng)🤟最❄️好網(wang)站安全(quan)性,更強(qiang)的分離(li)出來MEMS元(yuan)器件的(de)✔️每個層(ceng)。MSA-650IRIS顯🧡微鏡(jing)式激光(guang)測振儀(yí)内嵌專(zhuan)用型紅(hong)✌️外相機(ji)和低相(xiàng)關SLD源,是(shi)當前通(tōng)過矽封(fēng)裝構造(zào)獲得詳(xiang)細動态(tai)性性能(neng)的系統(tǒng)軟件,實(shi)際上時(shí)面外振(zhèn)動網絡(luo)帶寬達(dá)♋到25MHz,平行(hang)面振👄動(dòng)屏幕分(fèn)辨率低(dī)至30nm。

     
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