日日摸天❌天摸人人看㊙️BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 - 流量計

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BROOKS 質量(liang)流量控(kòng)制器 GP200系(xì)列簡介(jie)
所有的(de)表現。沒(méi)有任何(he)限制。
GP200 系(xi)列是第(di)一款完(wan)全不敏(min)感的基(ji)于壓力(li)的質量(liang)流👅量👨‍❤️‍👨控(kòng)制器✌️ (P-MFC)，專(zhuan)🔴為半導(dao)體制造(zao)中的先(xian)進蝕刻(ke)和沉積(ji)工藝㊙️而(er)設計。
GP200 系(xi)列 P-MFC 采用(yong)技術架(jià)構，克服(fu)了傳統(tong) P-MFC 的局限(xiàn)性，即使(shi)在💜輸送(song)低蒸氣(qì)⁉️壓工藝(yì)氣體時(shí)也能提(tí)供最精(jīng)确的工(gong)藝氣體(ti)輸送。它(tā)包括幾(ji)個獨特(te)的設計(ji)方面，包(bao)括與下(xià)遊閥門(men)架構相(xiang)結合的(de)集成壓(yā)差傳感(gǎn)器，可在(zài)行業中(zhōng)最廣泛(fan)的操作(zuo)條件下(xià)實現最(zui)精确的(de)工藝氣(qì)體輸送(sòng)。
由于 GP200 系(xi)列支持(chi)如此廣(guang)泛的工(gōng)藝條件(jiàn)，它可以(yi)用作許(xu)多🔴傳統(tong) P-MFC 和熱 MFC 的(de)直接替(ti)代和升(shēng)級。它降(jiàng)低了氣(qì)體💛輸送(sòng)⭐系統的(de)複雜性(xing)和擁有(yǒu)成本，因(yīn)為它消(xiao)除了對(duì)壓力調(diao)節器和(hé)🌈傳感器(qì)等組件(jian)的需求(qiu)。

特征
真(zhēn)正的差(cha)壓測量(liang)
降低入(rù)口壓力(lì)運行
下(xia)遊閥門(men)結構
匹(pi)配的瞬(shun)态響應(ying)
零洩漏(lou)控制閥(fá)
MultiFlo TM技術提(ti)供了無(wu)與倫比(bǐ)的靈活(huo)性——一個(gè)設備可(ke)以針對(duì)數千種(zhǒng)不同的(de)氣體和(he)流量範(fan)圍配置(zhi)進行編(biān)程，而無(wu)需從氣(qi)體管線(xian)中移除(chu) MFC 或影響(xiǎng)精度
本(ben)地顯示(shi)顯示流(liú)量、溫度(du)、壓力和(hé)網絡地(di)址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模(mó)拟接口(kou)
好處
通(tōng)過消除(chú)匹配和(hé)補償兩(liang)個獨立(li)壓力傳(chuán)感器的(de)要求，GP200 差(cha)壓技術(shù)降低了(le)測量不(bu)确定性(xìng)，從而提(ti)高了準(zhǔn)📱确性、可(ke)重複性(xing)和漂移(yi)性能。
由(yóu)于專為(wéi)低壓差(cha)測量而(ér)優化的(de) GP200 差壓傳(chuán)感器，現(xian)在使用(yòng)☁️ P-MFC 可以在(zai)較低的(de)入口壓(yā)力下實(shi)現更安(an)全的晶(jing)⛷️圓廠📱操(cāo)作。
下遊(you)閥門結(jié)構确保(bǎo)精度獨(du)立于下(xia)遊壓力(lì)，使流量(liàng)輸🥰送到(dao)高達 1200 Torr 的(de)壓力。快(kuai)速關閉(bì)閥門解(jiě)決了上(shang)遊 MFC 閥門(mén)設計中(zhong)出現的(de)非生産(chan)性配方(fang)等待時(shí)間或“尾(wei)部效應(ying)”，這些閥(fa)門需要(yào)額外的(de)時間來(lai)排♻️出其(qí)内部氣(qì)體體積(jī)。
超快、高(gāo)度可重(zhòng)複的上(shàng)升和下(xià)降流動(dòng)穩定時(shi)間可✏️在(zai)先📐進的(de)高循環(huán)沉積和(he)蝕刻工(gong)藝中實(shí)現更嚴(yan)格的工(gong)藝控制(zhi)。
閥門關(guān)閉性能(néng)提高 100 倍(bei)
使用 MultiFlo TM，MFC 滿(mǎn)量程流(liú)量範圍(wéi)通常可(ke)以按 3:1 的(de)系數重(zhong)新按😘比(bi)例縮小(xiǎo)，而不會(hui)影響精(jīng)度、量程(chéng)比或規(gui)格洩漏(lou)，以實現(xiàn)最佳🔞工(gōng)藝和庫(kù)存靈活(huo)性
方便(bian)的用戶(hù)顯示和(he)獨立的(de)診斷/服(fú)務端口(kou)有助于(yu)設備安(an)裝、監控(kòng)和故障(zhang)排除
主(zhǔ)要應用(yòng)
半導體(tǐ)制造
蝕(shí)刻
化學(xué)氣相沉(chén)積 (CVD)
需要(yào)高純度(du)全金屬(shu)流路的(de)氣流控(kòng)制應用(yong)

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